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解析干式螺杆真空泵的操作流程

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解析干式螺杆真空泵的操作流程

发布日期:2019-07-20 作者:沃华干式真空泵 点击:

干式螺杆真空泵对于企业虽然价格偏高但是对于企业的长期来说质量稳定、效率高,接下来为大家解析干式真空泵的操作流程以及后期优化,干式螺杆真空泵是使用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气效果的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校对,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因而泵工作时,相互之间无磨擦,工作平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因而,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少数粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免修理等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。与螺杆式紧缩机相似,干式螺杆真空泵的工作过程可分为吸入、紧缩和排气三个过程。跟着转子的滚动,每对啮合齿依次完成相同的工作循环,现在用一对齿来阐明。

1、吸气过程:

阳转子按逆时针方向旋转,阴螺杆顺时针旋转。转子上端为吸入段,下端为排气段。

2、紧缩过程:

转向端面是排气端面。这儿,正转子顺时针旋转,负转子逆时针旋转。转子上端为吸入段,下端为排气段。

3、排气过程:

螺杆泵的排气过程是在齿间容积与排气孔连通时开端的。跟着齿间容积的减小,带排气压力的气体逐渐通过排气孔排出。螺杆式真空泵是技术含量十分高的科技产品,主要应用于高纯净的真空工艺过程 , 真空度极高,可习惯恶劣工况,具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力,特别适宜于电子、化工、冶金、石油、航空航天、东西、造纸、包装、食品、制药、医疗器械和生物医药等职业范畴。

 干式真空泵

    

现在,可以看到干式螺杆真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺,而使得你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式是你最好的选择。


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