选择真空机组的程序以及预抽泵的配置

真空机组设计计算的一般程序:

A.真空室内总放气量的计算;

B.确定真空室的有效抽速;

C.粗配主泵和粗配前级真空泵;

D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;

E.绘制真空系统装配草图，确定各部分的尺寸;

F.精确(复核)计算各真空泵的参数，如果粗选的真空泵达不到要求，就需要重新选泵和配泵，直到满足各参数要求为止;

G.绘制真空系统装配图;

H.绘制零件图，绘制施工图。

以上八条设计计算步骤是非标准设计不可缺少的。随着真空设备的不断发展，随着各种新型的真空机组的不断出现，真空系统设计过程会不断简化.现在已有定型真空机组，若可以直接选择定型真空机组来获得所需真空系统，便可省去麻烦的真空系统设计。

真空机组中前级泵和预抽泵的选择是非常重要的，错误的选择会影响整个工作的流程，甚至会造成很大的经济损失。

配前级泵:

前级泵直接影响主泵性能，影响真空系统的抽气时间和经济效益。在真空系统中气体处于稳定流动状态时，则整个管路上任意截面的气流Z是相等的。故管路上串联的各泵在单位时间内所抽走的气体也是相等的。但是，管路系统各截面的气压并不相等，各截面的抽速也就不相同。因此，配前级泵的要求是

①保证始终及时地排出主泵所排出的气体流量;

②在主泵出口处造成的压强低于主泵的Z大排气压强;

③如果前级兼作预抽真空泵，则还要满足预抽时间和预抽真空度的要求。

配预抽泵

有些主泵，如钛泵和低温泵之类，只需要预抽泵先抽到预备真空，然后就自己独立工作，而不需要前级泵。这种系统的预抽泵抽速，是将真空室在（一般为10~15min)时间内抽到所要求的预真空度的抽速。

另一些主泵，如扩散泵和增压泵，它们既需要前级泵，也需要预抽泵。这时，可将两个抽速进行比较，倘若预抽泵抽速不大于前级泵抽速，则前级泵可兼做预抽泵.不然，则需补设一台预抽真空泵。这台补设的预抽泵的抽速，为前述两抽速之差。

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